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半导体测试系统及解决方案

半导体生产工程设备上的直流电源

本公司的电源用于为半导体生产工程线的晶片供应水的净化工程(超纯水工厂)的CEDI供电。
该设备是将供应的水转换成超纯水的装置，需要运行24小时365天以上，启用2年、3年也要产品毫无问题的运转，使半导体工程不会停止，可见是具有可靠性和耐久性的产品。
另外，提供多种通信接口也使系統集成公司轻易选择使用该电源。

Semiconductor Manufacturing Processing Line Power Supply Unit

主要功能

  • 半导体工程线晶片供应水的净化工程，超纯水工厂的水的超纯水蒸馏用供电装置
  • 提供多种容量(小、大容量)
  • 装载多种通信模块 : 就地(Local)控制之外用远程(Remote)控制器提供4-20mA 模拟编程, RS485, Modbus RTU等
  • 装载独立的保护功能
  • 根据客户要求组成多通道
  • 以低电压纹波和噪声可实现精密控制
  • 高精密检测功能

规格

  • 15kW 3U 小型尺寸
  • 并联操作 R11; 最多 5台, 串联操作 R11; 最多2台
  • 功率因素 : 0.8 @ Full rate and 460Vac
  • 编程/回读精度 : 电压 ±0.1% of Full Scale/电流 ±0.4% of Full Scale
  • 装载过电压保护、过电流保护、过温度保护、风扇故障警告, PMP, 电压电流平衡, V-sensing失败, AC 输入失败, 整流器失败保护
  • 尺寸 : 426mm(W) x 132mm(H) x 600mm(D)
  • 重量 : 约 30kg
  • 纹波和噪声 : 电压 60mVrms/电流 ±0.1% rms
  • 电压上升／下降时间 : 上升 100ms 10%~90% Half load/下降 100ms 90%~10% Half load
  • 电流上升／下降时间 : 上升100ms 10%~90% Half load/下降 100ms 90%~10% Half load
  • 瞬态响应时间 : 0.75%/1ms, 50%~100% 或 100％~50％负荷变化在1ms内恢复到满量程的±0.75％
  • 效率 : Max load 88% Volt max set, 50% load 80%
  • 稳定性 : 0.05%/8个小时 of F.S

应用领域

半导体工程线晶片供应水的净化工程，超纯水工厂的超纯水设备的供电装置

客户

Main Customer